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石英坩堝的歷史和現(xiàn)狀

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石英坩堝的歷史和現(xiàn)狀

發(fā)布日期:2014-08-07 00:00 來源:http://www.doctorsonline.cn 點擊:

    1.早期石英坩堝 早期的石英坩堝是全部透明的,早期的石英坩堝是全部的透明的結(jié)構(gòu),這種透明的結(jié)構(gòu)卻容易引起導(dǎo)致不均勻的熱傳輸條件,增加晶棒生長的困難度。所以這種坩堝基本被淘汰使用。

    2.現(xiàn)代的石英坩堝 現(xiàn)代拉單晶的石英坩堝一般是采用電弧法生產(chǎn),半透明狀,是拉制大直徑單晶硅,發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料 現(xiàn)代的石英坩堝則存在二種結(jié)構(gòu),外側(cè)是一層具有高氣泡密度的區(qū)域,稱為氣泡復(fù)合層,內(nèi)側(cè)則是一層3~5mm的透明層,稱之為氣泡空乏層。氣泡復(fù)合層的目的是在與均勻的輻射有加熱器所提供的輻射熱源。氣泡空乏層的目的在于降低與溶液接觸區(qū)域的氣泡密度,而改善單晶生長的成功率及晶棒品質(zhì)。

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