石英片生產(chǎn)廠家為您介紹了備用石英管清洗

　　1.清洗石英管的整個過程應(yīng)嚴格按照擴散工序相關(guān)工藝安全標準進行。

　　2.清洗槽內(nèi)如果存有以前用過的氫氟酸溶液，溶液不臟的情況下可以再往里面加10瓶氫氟酸（由生產(chǎn)人員調(diào)配）；如果原有的氫氟酸溶液很臟，則應(yīng)全部排空并洗凈槽體，然后通知生產(chǎn)人員配液；如果槽內(nèi)無以往剩下的氫氟酸溶液，洗凈槽體后請生產(chǎn)人員配液。

　　3.清洗人員必須佩戴好防護眼鏡和防酸手套，然后將備用石英管放入石英管清洗機靠近里面的槽內(nèi)，管口朝向制絨間，管尾指向擴散爐所在方向。拉下防護門，將酸槽清洗時間設(shè)定為30min，按下控制面板中"酸槽啟動"按鈕。

　　4.酸槽清洗時間的設(shè)定：

　　新的石英管只需清洗30min左右。如果是用過的石英管，應(yīng)以將管內(nèi)壁上沾附的白色五氧化二磷全部脫落的時間為準。清洗用過的管子，有的要1到2天時間。在酸槽未啟動的情況下，應(yīng)每隔2個小時將石英管旋轉(zhuǎn)180°。

　　5.清洗人員戴好防護眼鏡和手套，將石英管從酸槽取出，輕放入水槽。將水槽內(nèi)的水排空后用水槍沖洗石英管內(nèi)外壁約5分鐘。沖洗石英管內(nèi)壁時不要按下"水槽啟動"按鈕，如果已經(jīng)按下了應(yīng)再按下"水槽結(jié)束"按鈕。然后把水槍拉到石英管管口，從管口向管尾方向沖洗管內(nèi)壁。沖洗時應(yīng)仔細認真，不要有殘留未沖到的區(qū)域。2分鐘后，將石英管旋轉(zhuǎn)180°，再用同樣方式?jīng)_洗2分鐘。

　　6.將純水注入水槽，水位以能沒過石英管尾部的中間通氣管為準。拉下防護門，然后將水槽清洗時間設(shè)定為30min，按下"水槽啟動"按鈕。

　　7.重復(fù)第6步，再清洗一遍。

　　8.水槽結(jié)束后，將水槽內(nèi)的水排空。然后，參照上面第5步的方法用水槍沖洗石英管內(nèi)/外壁。重點沖洗內(nèi)壁。約5min后用水槍沖洗管尾的四個小通氣管，重點同樣是管內(nèi)壁。沖洗2分鐘后再繼續(xù)從管口方向沖洗。此步清洗時間應(yīng)不少于15min，以管內(nèi)外壁無顆粒狀磷化物殘留為清洗干凈的標志。

　　9.清洗好后將石英管放到凈化間的指定位置，下面墊上專用的泡沫。

　　10.將管口和尾管用專用鋁箔密封。